佳能將于2022年7月下旬發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設(shè)備新品“MPAsp-H1003H”。作為支持第8代玻璃基板尺寸的FPD曝光設(shè)備新產(chǎn)品，“MPAsp-H1003H”擁有1.5μm（L/S）的分辨率和±0.35μm的套合精度。

01、第8代玻璃基板上實(shí)現(xiàn)1.5μm高分辨率

本次發(fā)售的新產(chǎn)品沿用了針對第8代玻璃基板研發(fā)的FPD曝光設(shè)備“MPAsp-H1003T”（2018年10月推出）所搭載的投影光學(xué)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)對65英寸面板的一次曝光。此外，新產(chǎn)品還搭載了第6代玻璃基板的曝光設(shè)備“MPAsp-E813H”（2014年9月推出）所使用的超分辨技術(shù)，該技術(shù)經(jīng)驗(yàn)證，可以實(shí)現(xiàn)1.5μm的高分辨率。在多種技術(shù)加持下，新產(chǎn)品既可以滿足IT顯示器用面板的高分辨率需求，又可以實(shí)現(xiàn)大型顯示器所需的最大65英寸無拼接式面板的制造。

02、兼顧高生產(chǎn)性與高套合精度

通過對趨于成熟的高速載臺技術(shù)的升級和改進(jìn)，并不斷提高了玻璃基板載臺的性能，本次發(fā)售的FPD曝光設(shè)備“MPAsp-H1003H”與上一代產(chǎn)品“MPA sp-H1003T”相比，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)效率約20%的提升。此外，通過結(jié)合“MPAsp-E813H”中經(jīng)實(shí)績驗(yàn)證的定位方式和倍率校正機(jī)構(gòu)，新產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)±0.35μm的套合精度，與上一代產(chǎn)品“MPAsp-H1003T”相比提高了約20%。

03、增強(qiáng)各類制造工序的工藝對應(yīng)能力

新產(chǎn)品配備了包含超分辨率技術(shù)照明模式的切換構(gòu)件和穩(wěn)定曝光線寬的自動曝光狹縫調(diào)整（SIC）構(gòu)件，強(qiáng)化了多樣化制造工序的工藝對應(yīng)能力，提供了更穩(wěn)定的制造質(zhì)量。

主要優(yōu)點(diǎn)

1、在第8代玻璃基板上實(shí)現(xiàn)1.5μm的高分辨率

與第8代玻璃基板的前代曝光設(shè)備“MPA sp-H1003T”的2.0μm相比，通過采用第6代玻璃基板曝光設(shè)備“MPA sp-E813H”中久經(jīng)考驗(yàn)的超分辨率技術(shù)，新產(chǎn)品更進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了1.5μm的高分辨率的曝光。 新產(chǎn)品還沿用了第8代玻璃基板的曝光設(shè)備“MPA sp-H1003T”的廣曝光視角，實(shí)現(xiàn)對65英寸面板的一次曝光。

2.兼顧高生產(chǎn)率和高套合精度、 與“MPA sp-H1003T”相比，通過改進(jìn)高速載臺技術(shù)，提高玻璃基板載臺的性能，新產(chǎn)品的生產(chǎn)效率提高了約20%。新產(chǎn)品搭載了曝光設(shè)備“MPA sp-E813H”中經(jīng)實(shí)績驗(yàn)證的倍率校正機(jī)構(gòu)。對于在制造工序中形成多層時產(chǎn)生的基板形變，通過高精度校正驅(qū)動來進(jìn)行準(zhǔn)確地套合曝光。采用在曝光設(shè)備“MPA sp-E813H”中經(jīng)實(shí)績驗(yàn)證的定位方式，新產(chǎn)品通過對每塊面板進(jìn)行多點(diǎn)同時測量，在不降低生產(chǎn)效率的情況下有效提高測量精度，實(shí)現(xiàn)±0.35μm的套合精度。

3、增強(qiáng)各類制造工序的工藝對應(yīng)能力

新產(chǎn)品的照明模式可以根據(jù)需要曝光的圖案進(jìn)行切換，從而適配各類制造工序的曝光。通過光學(xué)元件的不同組合，可以從適合重復(fù)類圖案的“Annular模式”、適合孤立類圖案的“Conventional 2模式”和適合需要高照度的圖案的“Conventional 3模式”中進(jìn)行選擇。在形成圓弧光的機(jī)構(gòu)中，新產(chǎn)品配備有曝光狹縫自動調(diào)整機(jī)構(gòu)（SIC：Slit Illuminance Control）。通過自動控制光線通過的狹縫寬度，可以改變曝光光線的強(qiáng)度分布，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的曝光線寬。