4月21日，ASML發(fā)布2021年第一季度財報。第一季度凈銷售額(net sales)金額為44億歐元，毛利率(gross margin)達(dá)到53.9%，凈利潤金額(net income)為13億歐元。銷售額和毛利率的增長主要受益于累積裝機(jī)業(yè)務(wù)收入的增長。第一季度的新增訂單金額為47億歐元，其中23億歐元來自EUV系統(tǒng)訂單。

在EUV（極紫外光）光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域，將光罩保護(hù)膜的透射率提高到90％，為客戶的大批量生產(chǎn)提供了更高的產(chǎn)量。在DUV（深紫外光）光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域，TWINSCAN NXT:1470每小時曝光300多片晶圓, 與以前的型號（XT：1460）相比，幾乎提高了50％。在客戶處完成了第100次DUV SNEP（System Node Extension Package，系統(tǒng)整體性能升級）。SNEP產(chǎn)品為客戶提供了一種低成本解決方案，可提高系統(tǒng)性能，使其與ASML更先進(jìn)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)保持一致，從而延長了系統(tǒng)的使用壽命。同時，我們實(shí)現(xiàn)了第1000臺TWINSCAN KrF系統(tǒng)交付的里程碑。